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氧化鋁陶瓷粉:先進電子封裝中的陶瓷材料

 山(shan)東(dong)埃爾派 |  點擊(ji)量:0次  |  2019-11-25 

摘要
  電子封裝基片材料的種類很多,常用基片主要分為塑料封裝基片、金屬封裝基片和陶瓷封裝基片3大類,目前以塑料為封裝材料最為廣泛。但塑料封裝材料通常熱導率不高、可靠性不

  電子封裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)基(ji)(ji)片(pian)材(cai)料(liao)的種(zhong)類(lei)很多,常用(yong)基(ji)(ji)片(pian)主(zhu)(zhu)要(yao)分為塑料(liao)封裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)基(ji)(ji)片(pian)、金(jin)(jin)屬封裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)基(ji)(ji)片(pian)和陶(tao)瓷(ci)封裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)基(ji)(ji)片(pian)3大類(lei),目前以塑料(liao)為封裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)材(cai)料(liao)最為廣泛。但塑料(liao)封裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)材(cai)料(liao)通(tong)常熱導(dao)率(lv)不高(gao)、可靠性不好(hao),在要(yao)求(qiu)較高(gao)的場(chang)合并(bing)不適用(yong);金(jin)(jin)屬封裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)材(cai)料(liao)熱導(dao)率(lv)高(gao),但一(yi)般熱膨脹系數不匹配,而且價格較高(gao);陶(tao)瓷(ci)封裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)雖(sui)然不是主(zhu)(zhu)要(yao)的封裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)形式,但其(qi)作為一(yi)種(zhong)氣密性封裝(zhuang)(zhuang)(zhuang),熱導(dao)率(lv)較高(gao),毫無疑問是今(jin)后(hou)封裝(zhuang)(zhuang)(zhuang)材(cai)料(liao)的發展方向。

  那又(you)有哪些陶瓷材料會被用以(yi)電(dian)子封裝呢(ni)?

  1、Al2O3陶瓷(ci)

  Al2O3陶(tao)瓷是目前應用最成熟的陶(tao)瓷基片(pian)材料(liao),其價格(ge)低廉,尺寸精度高,與金屬(shu)的附著力(li)好(hao),耐熱(re)沖(chong)擊性(xing)(xing)和電絕(jue)緣性(xing)(xing)較好(hao),制作和加工技術成熟是一種綜合性(xing)(xing)能較為理想(xiang)的基片(pian)材料(liao),因而使用最廣泛(fan),占陶(tao)瓷基片(pian)材料(liao)的90%。

  2、AIN陶瓷

  AIN陶瓷基片是一種新(xin)型的(de)(de)基片材(cai)料(liao),具有優(you)良(liang)的(de)(de)熱傳導(dao)性(xing)、可靠的(de)(de)電(dian)絕緣性(xing)、低的(de)(de)介(jie)電(dian)常數和介(jie)電(dian)損耗(hao)、無毒,以及(ji)與硅相匹配的(de)(de)熱膨脹系數等(deng)一系列優(you)良(liang)特性(xing),被(bei)認為是新(xin)一代高集(ji)成度半導(dao)體基片和電(dian)子器件封裝的(de)(de)理想材(cai)料(liao),受(shou)到了國內外研究者的(de)(de)廣泛重視。

  但是,AIN陶(tao)瓷(ci)的(de)制備工藝復雜,成(cheng)本高,故至今仍(reng)未能進行大規模的(de)生產(chan)和應用。

  3、BN陶瓷

  BN具有(you)(you)較好(hao)的(de)綜合性能,但作為基(ji)片(pian)材料,它沒有(you)(you)突出(chu)的(de)優(you)點(dian),價格昂貴,而且(qie)熱(re)膨脹系數(shu)(shu)又遠小于(yu)Si的(de),易形(xing)成較大的(de)熱(re)應力(Si在(zai)室溫至673℃范圍內熱(re)膨脹系數(shu)(shu)為(3.5~3.8)×10-6℃),BN目前(qian)仍處于(yu)研(yan)究和推廣(guang)中(zhong)。

  4、氧化(hua)鈹(BeO)

  BeO材料(liao)密度低,具有纖鋅礦型和(he)強(qiang)共價鍵結構,其粉末與基片(pian)均為(wei)白色。相對(dui)分(fen)子(zi)量較低,導致材料(liao)熱(re)導率高,如(ru)純(chun)度為(wei)99%的BeO陶瓷室溫熱(re)導率可(ke)達(da)310W/(m·K)。其禁帶寬度高達(da)10.6eV,介電常數(shu)為(wei)6.7,彈性模量為(wei)350GPa,抗(kang)彎強(qiang)度為(wei)200MPa,具有良好的綜合性能。

  BeO的(de)生(sheng)產(chan)成本很高,這(zhe)也限制了它(ta)的(de)生(sheng)產(chan)和推廣應用(yong)。其用(yong)途(tu)僅限于以下幾個方(fang)面:高功率晶體(ti)管(guan)(guan)(guan)的(de)散(san)熱片、高頻及大功率半(ban)導(dao)體(ti)器(qi)件(jian)的(de)散(san)熱蓋板(ban)、發射管(guan)(guan)(guan)、行波管(guan)(guan)(guan)、激(ji)光管(guan)(guan)(guan)、速(su)調管(guan)(guan)(guan)等。

  5、SiC陶瓷

  SiC陶瓷的(de)(de)熱(re)導(dao)率很(hen)高,是Al2O3的(de)(de)13倍(bei)(bei),而且電絕(jue)緣性好(hao),熱(re)膨脹(zhang)系(xi)數低于Al2O3和(he)AIN。但是,SiC的(de)(de)介電常數太高,是AIN的(de)(de)4倍(bei)(bei),耐壓強度(du)(du)低,所(suo)以(yi)(yi)僅適合密(mi)度(du)(du)較低的(de)(de)封裝(zhuang)(zhuang)而不(bu)適合高密(mi)度(du)(du)封裝(zhuang)(zhuang)。除了(le)用于集成(cheng)電路組件(jian)、陣列組件(jian)以(yi)(yi)及激(ji)光二極管等之外,也用于具有導(dao)電性的(de)(de)(機構)結構零件(jian)。

  6、Si3N4陶瓷

  Si3N4陶瓷(ci)基片具有很高的電絕緣性(xing)(xing)能和化學穩(wen)定(ding)性(xing)(xing),熱(re)穩(wen)定(ding)性(xing)(xing)好,機械強度(du)大(da),除了加壓燒結品外,也可做成絕緣薄膜使用,尤其是(shi)可用于制造高集(ji)(ji)成度(du)的大(da)規(gui)模集(ji)(ji)成電路板。

  目前(qian)來說,就材(cai)料(liao)性質而(er)言,氮(dan)(dan)化鋁(lv)和氮(dan)(dan)化硅(gui)無疑是最(zui)好的(de)封(feng)裝材(cai)料(liao),但是考(kao)慮到成(cheng)本因素,氧化鋁(lv)因其突出(chu)的(de)性價(jia)比應用最(zui)為(wei)廣泛(fan)。

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